特許
J-GLOBAL ID：200903045867684432
基板処理装置及びその方法並びに基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-026588
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214479
出願日： 1998年01月23日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 密閉型の被処理基板カセットを清浄雰囲気にて開放する基板処理装置において、被処理基板カセットの蓋体を開きやすくすること。また密閉型の被処理基板カセットにおいて、ガスの置換をスム-ズに行うこと。【解決手段】 壁部2により基板処理装置を作業領域S1とロ-ディングエリアS2とに区画する。密閉型の被処理基板カセット(クロ-ズ型カセット)3において、カセット本体31の底部に常時閉じているバルブ5を設ける。作業領域S1に置かれたカセット載置部6には他端側がロ-ディングエリアS2内に開口している通気管51を突出させる。カセット3をカセット載置部6に載置すると、通気管51がバルブ5に割り込み、当該バルブ5が開いてカセット3の内部とロ-ディングエリアS2内とを連通させ、これにより両者の差圧が解消される。
請求項（抜粋）：
被処理基板を収納するカセット本体と、このカセット本体の被処理基板取り出し口を気密に塞ぐための蓋体とを有する密閉型の被処理基板カセットを備え、前記蓋体を開いて前記被処理基板カセット内を清浄雰囲気に開放し、当該被処理基板カセット内の被処理基板を取り出して処理する基板処理装置において、前記被処理基板カセットに設けられ、カセット本体の内部と外部とを連通するための連通孔と、この連通孔を開閉し、常時は閉じているバルブと、前記バルブを開いて前記連通孔を介してカセット本体の内部と前記清浄雰囲気とを連通させる連通手段と、を備え、前記被処理基板カセットの蓋体を開く前に、前記連通手段により被処理基板カセットの内部と前記清浄雰囲気とを連通させることを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/205
