特許
J-GLOBAL ID：200903045885673499
膜厚計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-140571
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005339
出願日： 1994年06月22日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 膜厚計測装置の計測再現性の向上をはかる。【構成】 レーザ発振器1から放射されるレーザ光をレンズ7によって焦光させて対象物8の表面aおよび該表面に形成された膜11の表面bに照射し、その各々の反射光を第1、第2の光電子増倍管55、56によって検出して膜厚を計測する膜厚計測装置であって、前記レーザ光の強度を検出する第3の光電子増倍管80と、第1の光電子増倍管の出力を第3の光電子増倍管の出力によって除算する除算器81と、第2の光電子増倍管の出力を第3の光電子増倍管の出力によって除算する除算器82とを具備し、第1、第2の除算器81、82の各出力に基づいて膜11の厚さを計測する。
請求項（抜粋）：
対象物の表面および該表面に形成された膜にレーザ光を照射し、その結果得られる反射光の強度を検出することにより前記膜の厚さを計測する膜厚計測装置であって、レーザ光を放射するレーザ発振器と、前記対象物の表面aおよび該表面に形成された膜の表面bの各々についてレーザ光を焦光させるレンズと、前記aおよびbについて各々検出する第1の光電子増倍管と、前記レーザ光の強度を検出する第2の光電子増倍管と、前記第1の光電子増倍管の出力を前記第2の光電子増倍管の出力によって除算する除算器とを具備し、前記aおよびbの各々に対応した前記除算器の各出力に基づいて、前記膜の厚さを計測することを特徴とする膜厚計測装置。
引用特許：
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