特許

J-GLOBAL ID：200903045890046702

酸化膜厚測定方法

発明者： 吉田 政司
出願人/特許権者： 住友金属テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 穂上 照忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-180129
公開番号（公開出願番号）：特開2002-372412
出願日： 2001年06月14日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】金属材料の表面に付着した酸化膜の厚さを非破壊で簡便に測定する方法の提供。【解決手段】被測定物の表面に付着した酸化膜中の音速が超音波の周波数によって変化することを利用して、共鳴次数の異なる2以上の超音波共鳴周波数から酸化膜の厚さを求める。特に、下記の(1)式から酸化膜の厚さ(dOX)を求めるのがよい。なお、周波数が0.2〜10MHzの範囲の超音波によって測定するのが望ましく、超音波の励起および検出には、電磁超音波法を用いるのがよい。また、本発明の測定方法は、化学式がM3O4(M:金属原子、O:酸素原子)で表される逆スピネル型構造を持つ酸化物からなる酸化膜を有する被測定物の測定に有用である。dOX=0.5×{(nfm-mfn)/(fnfm)}/{1/COX(fn)-1/COX(fm)}×10-3 ...(1)

請求項（抜粋）：

被測定物の表面に付着した酸化膜の厚さを超音波によって測定する方法であって、酸化膜中の音速が超音波の周波数によって変化することを利用して、共鳴次数の異なる2以上の超音波共鳴周波数から酸化膜の厚さを求めることを特徴とする酸化膜厚測定方法。

Fターム (4件)：

2F068AA28 ,  2F068FF14 ,  2F068FF23 ,  2F068GG04