特許
J-GLOBAL ID：200903045890117715
光エコー顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-098644
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273130
出願日： 1992年03月24日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 SN比が低い試料又はボトルネック準位の寿命が短い試料の光エコーをも検出する。【構成】 レーザー光を発生するレーザー光源1と、そのレーザー光を2分する光分割器2と、2分された一方の光束を遅延させる光遅延器4と、2分された光束をそれぞれ強度変調する強度変調器4b,5bと、2分された光束を合波して被検物体20上に集束する光学系3,11,12と、被検物体20からの光を検出する検出器15とを有する。
請求項（抜粋）：
像面上で点光源とみなせる空間コヒーレンスと所定の時間コヒーレンスとを有する光を供給するレーザー光源と、該レーザー光源からの光を2光束に分割する光分割器と、該光分割器により分岐された2光束の一方の光路中に配置された光遅延器と、前記分岐された2光束をそれぞれ所定の周波数で強度変調する強度変調器と、前記分岐された2光束を合波する光合波器と、該合波された光束を被検物体上に導いて光スポットを形成する照射光学系と、該照射光学系により形成される前記被検物体上の光スポットを前記被検物体に対して相対的に走査する走査手段と、前記被検物体からの光を光検出器上に導く集光光学系と、該光検出器の出力信号から前記強度変調器の変調周波数の所定の変調成分を抽出する信号処理手段とを有する事を特徴とする光エコー顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 21/63
, G01N 21/27
, G02B 21/00
, G02F 1/35
