特許

J-GLOBAL ID：200903045890346447

ウエハー処理装置用部材

発明者： 上井 敏治 ,  杉原 幹治
出願人/特許権者： 東海カーボン株式会社
代理人 (1件)： 福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-079030
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256177
出願日： 1997年03月13日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 イオンビーム等の照射を受ける工程において、ウエハーに純度的な悪影響を与えることなく、常に安定な状態で優れた半導体デバイスの歩留りを確保することができるウエハー処理装置用部材を提供すること。【解決手段】 肉厚0.01〜0.50mmのガラス状カーボンフィルムを、イオンビーム又は電子シャワーの照射を受ける金属部材又は黒鉛部材の少なくとも一部の表面に貼着あるいは嵌合してなるウエハー処理装置用部材。

請求項（抜粋）：

肉厚0.01〜0.50mmのガラス状カーボンフィルムを、イオンビーム又は電子シャワーの照射を受ける金属部材又は黒鉛部材の少なくとも一部の表面に貼着あるいは嵌合してなることを特徴とするウエハー処理装置用部材。

IPC (8件)：

H01L 21/265 ,  C04B 35/52 ,  C23C 14/04 ,  C23C 14/34 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/3065 ,  C01B 31/02 101

FI (8件)：

H01L 21/265 603 Z ,  C23C 14/04 A ,  C23C 14/34 Z ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/203 S ,  C01B 31/02 101 Z ,  C04B 35/54 E ,  H01L 21/302 B