結晶育成装置用坩堝

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-004472
公開番号（公開出願番号）：特開平6-211593
出願日： 1993年01月14日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：

【要約】【目的】結晶育成の際、高速度の坩堝回転においても溶融した結晶原料が軸対称流を保持しかつ周方向に発生する渦構造を防止する坩堝を提供する。【構成】坩堝1の内壁に半径方向に突出する板部材2を複数枚取り付けて坩堝内を区切り、融液対流をこの区切り部内に押さえることによって周方向への動きを規制する。これにより融液対流を軸対称に近づけ、かつ周方向への渦構造の発生を防止する。

請求項（抜粋）：

チョクラルスキー法または液体封止チョクラルスキー法に用いる結晶育成装置用坩堝において、坩堝内壁に半径方向に突出する板部材を複数枚取り付け、回転する坩堝内の周方向への融液対流を抑制する対流抑止板としたことを特徴とする結晶育成装置用坩堝。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-321585
特開昭63-074991
特開平4-108684

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