特許
J-GLOBAL ID：200903045904001316
蓄積型ラインセンサを用いた検査方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-201942
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035320
出願日： 1998年07月16日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：
【要約】【課題】本発明は、種々の変動の影響を受けずに高精度な検査を行う。【解決手段】検査対象2と蓄積型ラインセンサ1とを相対的に移動させたときの蓄積型ラインセンサ1の出力信号と検査対象2を検査するための参照データとを比較して検査対象2の検査を行う場合、検査対象2の線幅に応じた参照データの振幅に対する補正係数を予め保持する補正係数保持部17を設け、検査対象2の線幅に応じた補正係数を参照データ補正部18により補正係数保持部17から読み出し、この補正係数により参照データの振幅を補正し、この補正された参照データと蓄積型ラインセンサ1の出力信号と比較して検査対象2の検査を行う。
請求項（抜粋）：
検査対象と蓄積型ラインセンサとを相対的に移動させたときの前記蓄積型ラインセンサの出力信号と前記検査対象を検査するための参照データとを比較して前記検査対象の検査を行う蓄積型ラインセンサを用いた検査方法において、前記検査対象の線幅に応じた前記参照データの振幅に対する補正係数を予め保持し、前記参照データの振幅を前記検査対象の線幅に応じた補正係数で補正して前記蓄積型ラインセンサの出力信号と比較することを特徴とする蓄積型ラインセンサを用いた検査方法。
Fターム (20件)：
2F065AA56
, 2F065BB02
, 2F065CC19
, 2F065DD03
, 2F065DD11
, 2F065EE00
, 2F065FF04
, 2F065FF64
, 2F065JJ02
, 2F065JJ25
, 2F065MM01
, 2F065MM02
, 2F065PP02
, 2F065PP12
, 2F065QQ04
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
, 2F065QQ39
, 2F065RR08
