特許
J-GLOBAL ID：200903045904148740
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-228541
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054098
出願日： 1995年08月14日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【課題】 上部が開放した液中セルを用いて試料の液中観察を可能とし、しかも、探針を有するカンチレバーの撓みを撓み検出光学系によって検出する場合であっても、カンチレバーの撓み検出の精度の低下を防止する。【解決手段】 液中セル32は透明材料からなる。試料ホルダ34は、試料33の観察表面が下向きとなって試料33が液体31中に浸されるように配置される。カンチレバー35は、探針35aを有し、探針35aが上向きとなって試料33の観察すべき表面と対向するように配置される。光源38及び光検出器39は、液中セル32の側方に配置され、カンチレバー35の撓みを検出する撓み検出光学系を構成する。光源38からカンチレバー35に照射される照射光及びカンチレバー35からの反射光が液面31aを通過しない。
請求項（抜粋）：
上部が開放され液体を収容する液中セルと、試料を保持するとともに、前記試料の観察すべき表面が下向き又は横向きとなって前記試料が前記液体中に浸されるように配置された試料ホルダと、前記試料の観察すべき表面に対向するように配置された探針と、を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G02B 21/00
