特許
J-GLOBAL ID:200903045916096070

試料の光学特性測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小谷 悦司 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-202568
公開番号(公開出願番号):特開平6-050817
出願日: 1992年07月29日
公開日(公表日): 1994年02月25日
要約:
【要約】【目的】 試料の分光反射率等光学特性の測定において、器差を低減する。【構成】 積分球1の内壁1aを照明する第1,第2照明光学系10,20と、開口部2に向けて配置された試料3の反射光を受光する測定光学系40を備える。第1照明光学系10の開口部16は積分球1上部に、第2照明光学系20の開口部26は開口部2がある積分球1の下部に設けられている。そして、各光源を順次発光させて試料3の反射特性を測定し、予め求められ記憶された各光源に対応する係数を得られたデータに乗算し、この乗算結果を夫々加算して反射特性を求めるようにした。
請求項(抜粋):
光源用開口と試料用開口が形成された積分球と、上記光源用開口に配設され上記積分球の内壁を照明する光源と、上記試料用開口に置かれた試料の反射あるいは透過光を受光する受光部と、この受光部からの受光出力を用いて上記試料の反射あるいは透過特性を測定する測定手段とを有し、上記光源は、上記積分球の異なる箇所に複数配設され上記試料用開口において夫々異なる配光特性を示すように照射し、上記測定手段は、上記各配光特性の線形結合が所望の配光特性に近づくように線形結合の係数を光源毎に予め求めて記憶しておき、上記各光源の発光による各反射あるいは透過特性に対応する光源の係数を乗算し、この乗算結果を夫々加算して所望の配光特性での上記特性を求めるようにしたことを特徴とする試料の光学特性測定装置。

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