被測定試料の電気的測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：熊谷浩明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-103294
公開番号（公開出願番号）：特開平9-269343
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】トリガー信号は、画一的に入力されるため、安定状態を得るための所要時間に見込み違いがあると不安定状態にもかかわらず、実測定が開始される不都合があった。【解決手段】発振器11と、被測定試料を保持して被測定信号を取り込む試料チャック手段12と、取り込まれた被測定信号を電流もしくは電圧として検出する検出回路部13と、検出された電流もしくは電圧をデジタル変換するA/D変換器14と、必要データの演算や装置全体を統括制御をする中央処理手段15と、必要情報を出力する出力手段16とを少なくとも備え、試料チャック手段12を経て取り込まれる被測定データのうち、サンプリングデータとして取り込まれる当初被測定データは、試料チャック手段12のチャック状態の良否を判定するために予め設定されているしきい値と比較され、このしきい値を前記当初被測定データが上回っている場合に限り、実測定を開始するようにした。

請求項（抜粋）：

交流信号を発振する発振器と、被測定試料を保持して被測定信号を取り込む試料チャック手段と、取り込まれた被測定信号を電流もしくは電圧として検出する検出回路部と、検出された電流もしくは電圧を被測定データにデジタル変換するA/D変換器と、前記被測定データを含む必要データの演算や装置全体を統括制御をする中央処理手段と、必要情報を出力する出力手段とを少なくとも備え、前記試料チャック手段を介して取り込まれる被測定データのうち、サンプリングデータとして取り込まれる当初被測定データは、試料チャック手段のチャック状態の良否を判定するために予め設定されているしきい値と比較され、このしきい値を前記当初被測定データが上回っている場合に限り、実測定を開始することを特徴とする被測定試料の電気的測定方法。

IPC (2件)：

G01R 27/00 , G01R 27/02

FI (2件)：

G01R 27/00 , G01R 27/02 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-017868
特開昭57-017868

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