特許
J-GLOBAL ID：200903045922135044
走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いて試料を観察する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-260751
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203443
出願日： 1992年09月03日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 ステージやプローブの走査領域のドリフトによる観察像の移動を防止する。【構成】 試料Sはステージ1に固定され、プローブ2がZ方向駆動手段3により近接され、ステージ1とプローブ2の間に電源4から印加された電圧により流れるトンネル電流が増幅器5とA/D変換器6を経て、Z方向駆動手段3にフィードバックされると共に、データ信号生成器7でラスタ単位にまとめられ、画像データに用いられると同時に、その一部がデータ切出部13を介して演算部15に入力され、画像の移動量及びそれを減少するフィードバック信号が計算されて、ステージ1のXY両方向の駆動電圧に加算されて走査に用いられる。
請求項（抜粋）：
試料の表面に対向して配されたプローブと、該プローブで試料の表面を二次元的に走査する走査手段と、前記プローブから試料の構造に対応した信号を検出する検出手段と、該検出手段で検出された信号から試料の観察像を出力する出力手段とから成る走査型プローブ顕微鏡において、前記出力手段から出力される観察像がシフトしないように、前記検出手段で検出される信号に基づいて前記走査手段による走査を制御する制御手段を設けたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
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