特許
J-GLOBAL ID：200903045934893939
フラーレン誘導体および感光材料
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202514
公開番号（公開出願番号）：特開平7-033751
出願日： 1993年07月26日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】【目的】 新規なフラーレン誘導体、および遠紫外線を光源とするLSI等の半導体素子製造に適したフォトリソグラフィーのレジストとして好適な感光材料を開発する。【構成】 ピリミジン基含有フラーレン誘導体、およびピリミジン基含有フラーレン誘導体からなる感光材料により目的を達成できる。
請求項（抜粋）：
ピリミジン基含有フラーレン誘導体。
IPC (4件)：
C07D239/54
, C01B 31/02 101
, G03C 1/73
, G03F 7/038 505
