特許

J-GLOBAL ID：200903045935679833

電子部品吸着ノズルの位置ずれ検出装置及び検出方法

発明者： 森田 健
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-195087
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045794
出願日： 1992年07月22日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】 移動テーブルに一体的に組み付けられたカメラとノズルのセンターの位置関係の変動を検出できる電子部品吸着ノズルの位置ずれ検出装置及び検出方法。【構成】 移動テーブル1を駆動してヘッド4を可動子32の上方に位置させてノズル6を可動子32の嵌入孔33に嵌入させた後、カメラ3により嵌入孔33を観察してその位置を検出することにより、カメラ3とノズル5のXY方向の距離を検知する。

請求項（抜粋）：

電子部品をノズルに真空吸着して基板に移送搭載するヘッドと、カメラと、このヘッドとカメラが一体的に組み付けられた移動テーブルとを備えた電子部品実装装置における電子部品吸着ノズルの位置ずれ検出装置であって、前記ヘッド及び前記カメラの移動路の下方に配設された台座と、この台座にXY方向にスライド自在に載置された可動子とを備え、この可動子に前記ノズルが嵌入する嵌入孔を形成したことを特徴とする電子部品吸着ノズルの位置ずれ検出装置。