特許
J-GLOBAL ID：200903045947789723

静電吸着装置および処理装置

発明者：
西本 伸也

西本 伸也 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-251549
公開番号（公開出願番号）：特開2004-095665
出願日： 2002年08月29日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
【課題】被処理体の処理面温度を安定的に制御可能な静電吸着装置を提供すること。【解決手段】静電チャック42は、誘電体45とチャック電極46とから構成される。チャック電極46に直流電圧が印加されると、第1の吸着面58及び第2の吸着面60において、静電吸着力が発生され、第1の吸着面58に被処理体Wが吸着保持され、第2の吸着面60は載置台の本体部41に吸着する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
所定の処理が施される被処理体を載置する載置台の載置台本体の載置面に設けられ、被処理体を静電気力により吸着保持する静電吸着装置であって、 前記被処理体を吸着する第1の吸着面を構成する第1の誘電体層と、 前記載置台本体の載置面に吸着する第2の吸着面を構成する第2の誘電体層と、 前記第1の誘電体層と前記第2の誘電体層との間に設けられるチャック電極と、 を備えることを特徴とする静電吸着装置。
IPC (4件)：
H01L21/68 ,  C23C16/458 ,  H01L21/3065 ,  H02N13/00
FI (4件)：
H01L21/68 R ,  C23C16/458 ,  H02N13/00 D ,  H01L21/302 101G
Fターム (25件)：
4K030CA04 ,  4K030GA02 ,  4K030KA45 ,  4K030LA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB18 ,  5F004BB22 ,  5F004BB32 ,  5F004BD01 ,  5F004BD04 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA17 ,  5F031HA18 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA39 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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