特許
J-GLOBAL ID:200903045952841490

スキャニング型レーザマーキング装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 京本 直樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-313366
公開番号(公開出願番号):特開平7-164169
出願日: 1993年12月14日
公開日(公表日): 1995年06月27日
要約:
【要約】【目的】直交性と平行性とゲイン及びこれらの位置による非線形性を補正することにより、空間的な要因による位置決め精度の劣化を無調整で回避して位置決め後、高精度でマーキングを行う。【構成】格子上の中心位置(原点)を加工領域の中心点に一致させてから、格子模様をマーキングし、これを調整用に取り付けたクロスラインモニタを通したパターン認識装置を使用して、本来の正規の座標系における各格子点の座標値を読み取る。Xの誤差値に関しては、格子上の各Yに対して、関数近似法によりXの整式で近似する。次に任意の座標(x,y)におけるXの誤差値を求めるときは、まず上のXの整式でX=xのときの誤差値を各Yに関して求め、更にこれらのデータから関数近似法によりYの整式で近似式を求めてから、Y=yのときの補正量を求めることにより、任意の座標(x,y)のおける補正量を算出する。現在位置と行き先位置の間の相対移動量にプラスして、各点における誤差量の差を補正量として、ガルバノメータドライバに与えることにより位置補正を行う。
請求項(抜粋):
2つのガルバノメータを機械的にホールダに固定し、このホールダを搭載しているベースをワーク位置決め装置に固定した状態で、計測した格子点における誤差量をもとに、直交性と平行性とゲイン及びこれらの位置による非線形性を補正する手段を設けたことを特徴とするスキャニング型レーザマーキング装置。
IPC (7件):
B23K 26/00 ,  B23K 26/08 ,  B41J 2/44 ,  B41M 5/24 ,  G02B 26/10 ,  G02B 26/10 104 ,  G05B 19/404
FI (2件):
B41J 3/00 Q ,  G05B 19/18 G
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭60-188921

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