特許
J-GLOBAL ID：200903045954543446
イオン化微粒子発生方法およびイオン化微粒子発生器ならびにそれを使用した標準微粒子製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123427
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308089
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 放射性物質を使用することなく、イオン化微粒子を発生させる技術を提供する。【構成】 窒素ガス等のガス入口8と微粒子が排出するガス出口9とを設けた円筒容器7内に針状の材料電極14を配置する。材料電極には高圧電源16を接続する。円筒容器のガス出口に微粒子分粒器24を接続する。材料電極に高電圧が印加されると、材料電極の周辺のガスが放電を生じてイオン化され、このイオン化されたガス分子が材料電極に衝突して材料電極がスパッタリングされることにより、材料電極材の微細なイオン化粒子が発生される。このイオン化微粒子が微粒子分粒器24内に流入されることにより、所望のサイズの微粒子が分粒される。【効果】 微粒子の発生とイオン化とを同時に行えるため、微粒子発生源およびイオン化するための放射性物質が不要となる。
請求項（抜粋）：
針状の材料電極に高電圧を印加することによって材料電極の周辺のガスを放電によりイオン化し、このイオン化されたガス分子が材料電極に衝突して材料電極をスパッタリングすることにより、材料電極材の微細なイオン化粒子を発生させることを特徴とするイオン化微粒子発生方法。
IPC (3件)：
G01N 27/68
, C23C 14/34
, H01J 49/16
