特許

J-GLOBAL ID：200903045958607597

プラズマ装置およびRF電力波の電流と電圧の振幅と相対位相の情報誘導の方法

発明者： ケビン.エス.ゲリッシュ ,  ダニエル.エフ.ボーナ
出願人/特許権者： イー.エヌ.アイ.-ア.ディビジョン.オブ.アステック.アメリカ.インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-023348
公開番号（公開出願番号）：特開平10-041097
出願日： 1997年01月22日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】 プラズマ室20のRFプローブはRFプラズマ室に印加されたRF電力の電流と電圧の試料をピックアップし、また前記RF電圧と電流の波形をそれぞれのミクサ30、36に供給する。局部発振器38は、両ミクサに局部発振器信号をRF周波数±約15KHzで供給して電圧と電流ベースバンド信号を提供させる。これらのベースバンド信号をDSP46に供給するステレオ2チャンネルA/D変換器42に供給する。前記DSPは適切にプログラム化されて電圧と電流のベースバンド信号を複合高速フーリエ変換し、極めて精度の高い電圧と、電流および位相角の振幅を計算する。【効果】 パラメーターの小型化、安価、低ドリフト、高精度の点で、また集積化の順応性が大きい点でも改良され、また調波解析を可能にし、遠隔操作ならびに監視を容易にする。

請求項（抜粋）：

RFパワー・ゼネレータがRF電気波をRF周波数範囲でプラズマ室の入力に供給し、前記室内で前記RF電気波がプラズマを発生させ、またプラズマプローブが前記電気波と前記電気波のRF電流波形をピックアップするプラズマ装置において、前記プラズマプローブは、局部発振器信号を供給する制御可能な局部発振器(38)と;前記RF電圧波形と前記局部発振器信号をそれぞれ受入れる入力と、ベースバンド電圧信号(BB(V))を供給する出力とを備える電圧信号ミクサ(30)と;前記RF電流波形と前記局部発振器信号をそれぞれ受入れる入力と、ベースバンド電流信号(BB(V))を供給する出力を備える電流信号ミクサ(36)と;前記ベースバンド電圧信号を印加する第1のチャンネル入力と、前記ベースバンド電流信号を印加する第2のチャンネル入力、および前記ベースバンド電圧波形と前記ベースバンド電流波形のデジタル表現を含む時間同期直列デジタル信号を供給する直列出力(44)と;前記A/D変換器(42)の前記直列出力に接続された入力を備え、適切にプログラムされて、前記電圧ベースバンド信号と前記電流ベースバンド信号の振幅と相対位相を計算するデジタル信号プロセッサ(46)と;前記振幅と相対位相に基く出力測定を提供する外部インターフェイス(50)と;前記デジタル信号プロセッサに、また前記局部発振器に接続され、前記デジタル信号プロセッサに前記局部発振器の周波数の制御をさせる局部発振器インターフェイス(48);とからなることを特徴とするプラズマ装置。

IPC (3件)：

H05H 1/46 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H05H 1/46 R ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B