特許
J-GLOBAL ID：200903045959231620
イオン源用マイクロ波アンテナ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-148228
公開番号（公開出願番号）：特開平5-314918
出願日： 1992年05月13日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 アンテナを用いてイオン源チャンバの内部にマイクロ波を導入するようにしたイオン源に於いて、マイクロ波共鳴吸収を起こさせるためには磁場をチャンバ内部に形成する必要がある。簡単な機構で有効に磁場を形成することのできるアンテナを提供する。【構成】 アンテナの先端に永久磁石を取り付けこの永久磁石によってマイクロ波共鳴吸収のための磁場を発生させる。
請求項（抜粋）：
マグネトロンに接続され、イオン源チャンバの外から内部に挿入され、イオン源チャンバの内部にマイクロ波を導入する棒状のアンテナであって、内部に冷却水の通路と永久磁石を有し、前記永久磁石はイオン源チャンバの内部にマイクロ波共鳴条件を満たす磁場を発生するようにしたことを特徴とするイオン源用マイクロ波アンテナ。
IPC (5件)：
H01J 27/18
, C23C 16/50
, H01J 37/08
, H01L 21/265
, H05H 1/46
