特許
J-GLOBAL ID：200903045964007178
薄膜誘電体素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-246063
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135430
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 ペロブスカイト型酸化物からなる誘電体薄膜を用いた薄膜誘電体素子において、電極/誘電体薄膜界面の格子整合性を高め、リーク電流の増大や誘電破壊耐性の低下等といった問題を解消すると共に、実際のLSI回路等への適用を可能にする。【解決手段】 基板1上に順に積層された下部電極4、ペロブスカイト型酸化物からなる誘電体薄膜5および上部電極6を具備する薄膜誘電体素子3である。下部電極4と誘電体薄膜5および誘電体薄膜5と上部電極6の少なくとも一方の積層部は、基板面に対して略垂直方向に連続し、かつ結晶方位を引継いだ柱状グレインを有する多結晶構造膜からなる。電極/誘電体薄膜界面は柱状グレインにより部分的に格子整合されている。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上に形成され、前記基板の主面に対して略垂直方向に成長した柱状グレインを有する多結晶膜からなる下部電極と、前記下部電極上に形成されたペロブスカイト型酸化物からなる誘電体薄膜と、前記誘電体薄膜上に形成された上部電極とを具備し、前記誘電体薄膜は、前記下部電極の前記柱状グレインから連続成長し、かつ結晶方位を引継いだ柱状グレインを有する多結晶膜からなり、前記下部電極との界面が前記柱状グレインにより部分的に格子整合されていることを特徴とする薄膜誘電体素子。
IPC (10件)：
H01L 27/108
, H01L 21/8242
, H01G 4/33
, H01G 4/12 394
, H01L 27/04
, H01L 21/822
, H01L 27/10 451
, H01L 21/8247
, H01L 29/788
, H01L 29/792
H01L 27/10 651
, H01G 4/12 394
, H01L 27/10 451
, H01G 4/06 102
, H01L 27/04 C
, H01L 27/10 621 Z
, H01L 29/78 371
