特許
J-GLOBAL ID：200903045964630410
表面検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-206061
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027038
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 被検査物の表面粗さ及び反射率が変化しても、欠陥のみを検出する。【構成】 被検査物が全面走査される以前に、予め1ライン以上予備走査され、光電変換素子7にて検出された光量変化が、AD変換器8にてAD変換されてデータが格納される。このデータをもとにして演算処理器9にて反射光量の平均及び標準偏差が求められる。そして、欠陥検出回路10のスレッショルドレベルが、演算処理器9にて求めた反射光量の平均から標準偏差の所定の倍数だけ離れたところに設定され、欠陥検出回路10では、データが上記スレッショルドレベルを横切った時、欠陥と判断される。
請求項（抜粋）：
被検査物上にレーザ光を照射し、その反射光から欠陥を検出する表面検査装置において、上記レーザ光のビーム径を可変にする手段を備えたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
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