特許

J-GLOBAL ID：200903045975427144

ワークエッジの鏡面研磨装置

発明者： 箱 守 駿 二
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-264878
公開番号（公開出願番号）：特開平11-090803
出願日： 1997年09月11日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】 ワークの外周エッジを複数点において同時に且つ連続的に鏡面研磨することができる、加工効率及び生産性の良い研磨装置を得る。【解決手段】 中心軸線L10の回りを120度ずつ間欠的に回転する回転テーブル10上に、3つの研磨ドラム11と、回転テーブル10の間欠回転によりハンドリング位置A、表面エッジ研磨位置B、及び裏面エッジ研磨位置Cを順次移動する3つのワーク保持手段12とを設けると共に、ハンドリング位置Aにあるワーク保持手段12に対して加工済ワークの取出しと未加工ワークの供給とを行うハンドリング手段5と、表面エッジ研磨位置Bにあるワーク保持手段12が保持する、表面側エッジの研磨が終了したワーク1を表裏反転させるワーク反転手段6とを設ける。

請求項（抜粋）：

中心軸線の回りを回転自在の1つ以上の回転テーブル;上記回転テーブルの中心軸線の回りに、相互間にワークの直径より小さい間隔を保って自身の軸線の回りを回転自在なるように配設された、ワークの外周エッジを異なる複数点で同時に鏡面研磨するための複数の研磨ドラム;上記回転テーブルにおける研磨ドラムの回りに、相互間に一定の間隔を保って複数配設され、面取りされた外周エッジを表裏面に有する円板形ワークを保持して回転させながら、該ワークのエッジを複数の研磨ドラムに同時に接触させるワーク保持手段;上記回転テーブルを、各ワーク保持手段がハンドリング位置と表面エッジ加工位置と裏面エッジ加工位置との間を順次移動するように間欠的に回転させる駆動手段;上記ハンドリング位置にあるワーク保持手段に対して加工済ワークの取り出しと未加工ワークの供給とを行うハンドリング手段;表面側のエッジが研磨されたワークを表裏反転させるワーク反転手段;を有することを特徴とするワークエッジの鏡面研磨装置。

IPC (4件)：

B24B 9/00 601 ,  H01L 21/304 301 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B24B 9/00 601 H ,  H01L 21/304 301 B ,  H01L 21/304 321 E ,  H01L 21/304 321 Z