特許
J-GLOBAL ID：200903045982300168
フイルム露光装置における焦点検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339345
公開番号（公開出願番号）：特開平5-152384
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：
【要約】【目的】 再現性の高いフィルム露光装置における焦点検出方法を提供することにある。【構成】 フォーカスマークの投影像の幅方向の大きさをパラメータαとし、このパラメータαが許容値iに一致するようにレチクルおよび/または投影レンズを光軸方向に沿ってステップ移動させ(操作?@)、前記許容値iに一致した時点から、前記パラメータαが小さくなる方向にレチクルおよび/または投影レンズを光軸方向に沿って細かい間隔でステップ移動させ、再び許容値iに一致する点でレチクルおよび/または投影レンズの移動を停止させ(操作?A)、前記操作?A中における各パラメータαの合計値を2分する値に対応する位置を焦点と定めて、当該焦点にレチクルおよび/または投影レンズを光軸方向に沿って逆戻りさせる(操作?B)ことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
投影レンズによりレチクルに設けたフォーカスマークの投影像をフィルム上に形成し、このフィルム上の投影像をその幅方向に沿って複数の画素に分割してその光量を検出しながら、レチクルおよび/または投影レンズを移動させることにより投影像の焦点を検出するフィルム露光装置における焦点検出方法において、前記フォーカスマークの投影像の幅方向の大きさをパラメータαとし、このパラメータαが許容値iに一致するようにレチクルおよび/または投影レンズを光軸方向に沿ってステップ移動させ(操作?@)、前記許容値iに一致した時点から、前記パラメータαが小さくなる方向にレチクルおよび/または投影レンズを光軸方向に沿って細かい間隔でステップ移動させ、再び許容値iに一致する点でレチクルおよび/または投影レンズの移動を停止させ(操作?A)、前記操作?A中における各パラメータαの合計値を2分する値に対応する位置を焦点と定めて、当該焦点にレチクルおよび/または投影レンズを光軸方向に沿って逆戻りさせる(操作?B)ことを特徴とするフィルム露光装置における焦点検出方法。
IPC (3件)：
H01L 21/60 311
, G02B 7/28
, H01L 21/027
G02B 7/11 M
, H01L 21/30 311 N
