特許
J-GLOBAL ID：200903045987351283
基板保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-300735
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144774
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 水平姿勢の基板における周縁の複数箇所に作用する把持具を、基板周縁を係止する基板把持姿勢と、基板周縁から離れた退避姿勢に切り換える基板保持機構を備えた基板保持装置を、構造簡単でメンテナンスを行いやすいものにする。【解決手段】 基板Wの周縁の複数箇所に配備された把持具6を、縦軸心a周りに揺動して基板周縁に接近離反する揺動アーム7と、その遊端に立設された係止ピン8とから構成するとともに、揺動アーム7の基端支軸10の中心に上下にスライド可能に操作軸12を挿通し、基端支軸10と操作軸12との間に、操作軸12の自重による下方変位に伴って、揺動アーム7を基板把持姿勢方向に揺動させるカム機構14を設ける。
請求項（抜粋）：
水平姿勢の基板の周縁の複数箇所に作用する把持具を、基板周縁を係止する基板把持姿勢と、基板周縁から離れた退避姿勢に切り換える基板把持機構を備えた基板保持装置において、前記基板把持機構は、これを構成する部材の自重によって基板把持力を発生させるよう構成してあることを特徴とする基板保持装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/06 304
H01L 21/68 N
, B23Q 3/06 304 G
