特許

J-GLOBAL ID：200903045988700494

吸引ノズルおよびこの吸引ノズルを用いた接合材による接合方法

発明者： 佐藤 俊介
出願人/特許権者： 株式会社大真空
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-234098
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078892
出願日： 1994年09月02日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 作業効率が良く、しかも搭載精度の高いより信頼性の高い吸引ノズル、およびそれをを用いた接合方法を提供する。【構成】 被接合物を吸引保持するための吸引エアを流通させる貫通孔6aを有する吸引ノズル6において、少なくとも被接合物を吸引保持する部分に発熱体7を設けた。また、少なくとも被接合物を吸引保持する部分に吸引エア流通促進部(貫通孔までおよぶ切り欠き部、あるいは孔部等)を設けた。そして前記吸引ノズル6により、前記一の被接合物(サポート21)を吸引するとともに、他の被接合物(引出電極11)の所定の位置に移動し、位置決めし接触させる手段と、予め、前記他の被接合物上に塗布された接合材5が有り、この上部に前記一被接合物を接触させた後、発熱体7を加熱して接合材を硬化させる手段により、両被接合物を接合する。

請求項（抜粋）：

被接合物を吸引保持するための吸引エアを流通させる貫通孔を有する吸引ノズルにおいて、少なくとも被接合物を吸引保持する部分に発熱機能を設けた事を特徴とする吸引ノズル。

IPC (4件)：

H05K 13/04 ,  B23P 21/00 305 ,  B25J 15/06 ,  H03H 3/02