特許

J-GLOBAL ID：200903045991809995

有機不純物の測定および管理方法

発明者： 会沢 元浩 ,  五十嵐 裕夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-276440
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128323
出願日： 1993年11月05日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【構成】有機不純物を有機炭素と無機イオン不純物に分解し、それらの濃度を同時に測定する。有機炭素と無機イオン不純物の原子数の比から有機不純物の種類を推定するとともに、無機イオン不純物濃度より分解した後の導電率およびpH変化を計算する。有機不純物を有機物分解器45あるいは紫外線分解器56で有機炭素と無機イオン不純物に分解する。その後、有機炭素濃度を赤外線ガス分析計48で検出し、無機イオン不純物をイオン交換樹脂35に濃縮,溶離して導電率計54で検出する。【効果】有機不純物の発生源の推定が容易となり、迅速な有機不純物混入防止の対応をとることが可能となる。また、有機不純物に対して上記測定および管理が可能となり、現状のTOCのみの水質管理に対して、水質管理の信頼性を向上させる。

請求項（抜粋）：

清浄度の高い水を使用する設備の水質分析方法において、微量混入している有機不純物を有機炭素と無機イオンに分解後、有機炭素濃度と無機イオン濃度を同時に測定し、測定した有機炭素と無機イオン不純物の濃度比あるいは原子数の比より有機不純物の種類を推定することを特徴とする有機不純物測定および管理方法。

IPC (5件)：

G01N 33/18 ,  G01N 30/64 ,  G01N 30/88 ,  G21C 17/02 GDB ,  G21D 3/08 GDB