特許
J-GLOBAL ID:200903045992758774

磁気センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 横山 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-328845
公開番号(公開出願番号):特開2001-143227
出願日: 1999年11月18日
公開日(公表日): 2001年05月25日
要約:
【要約】【課題】 nmオーダーサイズのコンタクトホールを有する磁気センサを提供することを目的とする。【解決手段】 磁気抵抗効果膜3が被着されたグラニュラー構造膜2を挟んで上部電極層4と下部電極層1とを有し、該グラニュラー構造膜2は、絶縁体マトリックス22と、該絶縁体マトリックス22中に分散した直径dの粒状金属21との少なくとも2相からなる構造膜であって、該グラニュラー構造膜2の膜厚tは0 請求項(抜粋):
磁気抵抗効果膜が被着されたグラニュラー構造膜を挟んで上部電極層と下部電極層とを有し、該グラニュラー構造膜は、絶縁体マトリックスと、該絶縁体マトリックス中に分散した直径dの粒状金属との少なくとも2相からなる構造膜であって、該グラニュラー構造膜の膜厚tは0 IPC (4件):
G11B 5/39 ,  C23C 14/08 ,  G01R 33/09 ,  H01F 10/32
FI (4件):
G11B 5/39 ,  C23C 14/08 K ,  H01F 10/32 ,  G01R 33/06 R
Fターム (19件):
2G017AD54 ,  2G017AD63 ,  2G017AD65 ,  4K029BA64 ,  4K029BC06 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  5D034BA03 ,  5D034BA08 ,  5D034BA21 ,  5D034CA00 ,  5D034DA07 ,  5E049AC00 ,  5E049BA12 ,  5E049BA16 ,  5E049CB02 ,  5E049DB14 ,  5E049DB18

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