特許

J-GLOBAL ID：200903045992758774

磁気センサ

発明者： 菅原 貴彦
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 横山 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328845
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143227
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 nmオーダーサイズのコンタクトホールを有する磁気センサを提供することを目的とする。【解決手段】 磁気抵抗効果膜3が被着されたグラニュラー構造膜2を挟んで上部電極層4と下部電極層1とを有し、該グラニュラー構造膜2は、絶縁体マトリックス22と、該絶縁体マトリックス22中に分散した直径dの粒状金属21との少なくとも2相からなる構造膜であって、該グラニュラー構造膜2の膜厚tは0 請求項（抜粋）：

磁気抵抗効果膜が被着されたグラニュラー構造膜を挟んで上部電極層と下部電極層とを有し、該グラニュラー構造膜は、絶縁体マトリックスと、該絶縁体マトリックス中に分散した直径dの粒状金属との少なくとも2相からなる構造膜であって、該グラニュラー構造膜の膜厚tは0 IPC (4件)：

G11B 5/39 ,  C23C 14/08 ,  G01R 33/09 ,  H01F 10/32

FI (4件)：

G11B 5/39 ,  C23C 14/08 K ,  H01F 10/32 ,  G01R 33/06 R

Fターム (19件)：

2G017AD54 ,  2G017AD63 ,  2G017AD65 ,  4K029BA64 ,  4K029BC06 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  5D034BA03 ,  5D034BA08 ,  5D034BA21 ,  5D034CA00 ,  5D034DA07 ,  5E049AC00 ,  5E049BA12 ,  5E049BA16 ,  5E049CB02 ,  5E049DB14 ,  5E049DB18