特許

J-GLOBAL ID：200903045998307731

エッチング廃液の再利用方法

発明者： 細田 秀司 ,  小野 薫 ,  糟谷 豊 ,  長尾 稔
出願人/特許権者： 株式会社アイン ,  アイテック株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-114830
公開番号（公開出願番号）：特開平8-311664
出願日： 1995年05月12日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：

【要約】【目的】 アンモニアアルカリ性の塩化第二銅エッチャントを使用して銅物体のエッチングを行い、その際に生ずる廃液を、選択的に銅を抽出する抽出溶媒を使用して連続的に抽出することにより、再利用する方法において、再生エッチング液へ多くの抽出溶媒が混入して、エッチング速度の低下をきたすのを防止することを目的とする。【構成】 廃液と抽出媒体を攪拌混合した後抽出分離し、銅濃度を下げた再生液をエッチングに再利用すると共に、銅を含んだ抽出溶媒を逆抽出により、抽出溶媒中の銅を硫酸-硫酸銅水溶液に移行させ、その後抽出溶媒から硫酸を除去するべく、水、温水、又は希塩酸等の洗浄液を用いて該逆抽出後の抽出溶媒を洗浄する工程を含む。

請求項（抜粋）：

アンモニアアルカリ性の塩化第二銅エッチャントを使用して銅物体のエッチングを行い、その際に生ずる廃液を、選択的に銅を抽出する抽出溶媒を使用して連続的に抽出することにより、再生エッチング液として再利用する方法において、(a)廃液と抽出溶媒を連続的に攪拌混合した後、銅を含んだ抽出溶液と銅濃度を下げた再生液とに分離し、該銅濃度を下げた再生液をエッチングの再利用に供する工程と、(b)廃液より抽出した銅を含んだ抽出溶媒を、銅濃度及び硫酸濃度をある一定の範囲に調製した硫酸-硫酸銅水溶液と攪拌混合した後分離して、抽出溶媒中の銅を該硫酸-硫酸銅水溶液に移行させる逆抽出工程と、(c)逆抽出を行った後の抽出溶媒から硫酸を除去するべく、水、温水、又は希塩酸等の洗浄液を用いて該逆抽出後の抽出溶媒を洗浄する工程と、(d)洗浄を終了した抽出溶媒を再度、エッチング廃液の抽出再生に利用する工程と、(e)逆抽出により銅濃度の上昇した硫酸-硫酸銅水溶液を、電解を行って金属銅として回収する工程と、を含んでなることを特徴とするエッチング廃液の再利用方法。