特許
J-GLOBAL ID：200903045999432165
垂直振動質量体を有するMEMSジャイロスコープ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-357516
公開番号（公開出願番号）：特開2003-194545
出願日： 2002年12月10日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：
【要約】【課題】 作製が容易であり誤動作の確率が低いX型MEMSジャイロスコープを提供する。【解決手段】 本発明のX型MEMSジャイロスコープは、基板上で垂直に移動可能な第1質量体151、及び基板上で水平に移動可能な第2質量体152を有している。駆動電極110は第1質量体151と同一平面に設けられる。第1質量体151が垂直に振動すれば第2質量体152も共に垂直に振動される。第1質量体151が振動する間、第1及び第2質量体151,152の運動方向に垂直な角速度が加えられると、第2質量体152の水平方向にコリオリの力が加わり、感知電極120は第2質量体152のコリオリの力による水平方向上の変位を測定する。全ての電極内の移動電極と固定電極は同一平面上に配され、全ての構造物は単一マスクによって作製される。従って、移動電極と固定電極との粘着が防止され作製工程が単純化する。
請求項（抜粋）：
基板の板面方向の垂直方向に沿って前記基板に対して相対移動可能な第1質量体と、前記基板上に前記第1質量体と同一平面に設けられ、前記第1質量体を前記垂直方向上に振動させる駆動電極と、前記板面方向に平行した方向のうち一つである水平方向に沿って前記基板に対して相対移動可能であり、前記駆動電極によって前記第1質量体が振動する間、角速度を加えることによって発生したコリオリの力によって前記水平方向に移動する第2質量体と、前記第2質量体の前記水平方向上の変位を測定する検知電極と、を備えるMEMS(Micro Eelectro Mechanical Systems)ジャイロスコープ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2F105BB15
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD07
, 2F105CD13
