特許
J-GLOBAL ID：200903046007721124
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243157
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066120
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】【課題】ワークWの表面反射特性にバラツキを生じても、又、照明ランプに経時劣化等を生じても、安定して精度の高い画像を得ることのできる表面検査装置を提供する。【解決手段】ワークWの表面に対して照明光を照射するハロゲンランプ20と、ワークWの表面を撮像するCCDカメラ30と、CCDカメラ30により撮像された画像データを処理してワークWの表面に関する情報を出力するコンピュータ40とを備えた構成において、ハロゲンランプ20により照射される照明光の照度を所定のレベルに自動的に補正する照度補正手段43〜46を設け、予め記憶された基準照度と実際の出力照度とを比較し、その照度差に応じて照度を補正するようにした。
請求項（抜粋）：
被検査体の表面に対して照明光を照射する照明手段と、前記被検査体の表面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像データを処理して前記被検査体の表面に関する情報を出力する画像処理手段とを備えた表面検査装置であって、前記照明手段により照射される照明光の照度を所定のレベルに自動的に補正する照度補正手段を有する、ことを特徴とする表面検査装置。
Fターム (21件)：
2F065AA25
, 2F065AA49
, 2F065BB05
, 2F065CC00
, 2F065DD06
, 2F065EE03
, 2F065FF42
, 2F065GG02
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065NN02
, 2F065NN17
, 2F065PP02
, 2F065PP11
, 2F065QQ03
, 2F065QQ04
, 2F065QQ17
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
