特許
J-GLOBAL ID：200903046011275376
ウェハ研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-039218
公開番号（公開出願番号）：特開平5-234969
出願日： 1992年02月26日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 ウェハ自身に独自の回転運動を付与することで、ウェハの高平坦性及び高生産性を達成できるようにする。【構成】 ウェハ11を保持するプレート1の中心部に上下端に歯車2a,2bを有する伝達歯車2を回転自在に取り付け、歯車2bの回転がウェハホルダ7に伝達されるようにし、歯車3を介して外部から与えられる回転力を伝達歯車2を介してウェハホルダ7更にはウェハ11に伝達させ、プレート1及び定盤8の回転運動とは異なる回転運動をウェハ11に与え、これによってウェハを固定保持して研磨加工した際に発生するテーパをキャンセルし、ウェハの高平坦性の向上を図る。
請求項（抜粋）：
定盤及びウェハを保持するプレートを相対回転させ、かつ前記ウェハと前記定盤との間に研磨剤を介在させながら研磨を行うウェハ研磨装置であって、前記ウェハに前記プレートとは異なる回転運動を与える回転手段を設けたことを特徴とするウェハ研磨装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 321
, B24B 7/22
