超音波モ-タ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高橋昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-352543
公開番号（公開出願番号）：特開平9-191666
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】固定子若しくは回転子の摩擦摺動体に貼着した低摩擦摺動部材を備えた超音波モータにおける固着現象の解消を図る。【解決手段】前記低摩擦摺動部材の摺動面を研磨する場合、研磨面にSi系水和物の発生を排除した研磨をすることを特徴としたもので、例えば定盤22上に走行状態で載置テープ状フィルム23を介して、固定子10の摺動面ををワーク駆動手段30により固定子を回転させ、その摺動面12をドライラップ研磨加工を行う。

請求項（抜粋）：

超音波モータの固定子と回転子のいずれかの一に設けられた低摩擦摺動部材の摺動面を研磨する研磨加工工程を含む超音波モータの製造方法において、前記研磨面がSi含有物の発生を排除した研磨加工であることを特徴とした超音波モータの製造法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-161075
特開平3-270681
特開昭54-079561

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