固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-064529
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275811
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】固体撮像装置の出力回路部を構成するMOSトランジスタから、ホットキャリアによって発生した雑音電子が信号電荷蓄積部や信号電荷転送部に流入して発生する暗時出力および暗時出力むらを低減する。【構成】上記目的を達成するために、本発明はn型シリコン基板1でPウェルを2つに分割し、信号電荷蓄積3,信号電荷読み出し部4,信号電荷転送部5,信号電荷検出部6,リセットトランジスタ7,出力回路の初段ソースホロワの能動側MOSトランジスタ8を第1のPウェル上に形成し、出力回路の初段ソースホロワの負荷側MOSトラジスタ9,初段ソースホロワを除く出力回路10を第2のPウェル11上に形成している。

請求項（抜粋）：

第1導電型の半導体基板の表面部に形成された第2導電型ウェルに、光を信号電荷に変換し蓄積する信号電荷蓄積部と、信号電荷を転送する信号電荷転送部と、前記信号電荷蓄積部から前記信号電荷転送部へ信号電荷を一定の蓄積時間ごとに読み出す信号電荷読み出し部と、前記信号電荷転送部に接続され、信号電荷を信号電圧に変換する信号電荷検出部と、前記信号電荷検出部において不用となった信号電荷を外部に排出するリセットトランジスタと前記信号電荷検出部に接続され、所定の信号処理を行う出力回路部とを設けてなる固体撮像装置において、前記第2導電型ウェルが、前記信号電荷蓄積部、前記信号電荷読み出し部、前記信号電荷転送部、前記信号電荷検出部、前記リセットトランジスタおよび前記出力回路部のうち初段のソースホロワを構成する能動側MOSトランジスタが設けられる第1の第2導電型ウェルと、前記ソースホロワを構成する負荷側MOSトランジスタを含む前記出力回路部が設けられる第2の第2導電型ウェルとに分離されていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (4件)：

H01L 27/148 , H01L 21/339 , H01L 29/796 , H04N 5/335

FI (2件)：

H01L 27/14 B , H01L 29/76 301 C

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