特許

J-GLOBAL ID：200903046014824923

熱処理装置及びそのシール方法

発明者： 中尾 賢 ,  島津 知久
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-201573
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025911
出願日： 2000年07月03日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】 高いシール性を維持でき、しかも被処理体に対する汚染の恐れもない熱処理装置を提供する。【解決手段】 縦長の処理容器48内にその下端の開口部から、昇降可能になされたキャップ手段66上に設置された被処理体Wを挿入して収容すると共に前記開口部を前記キャップ手段により塞ぎ、前記被処理体を回転しつつこれに所定の熱処理を施す熱処理装置40において、前記キャップ手段は、回転可能になされ且つ熱処理時に前記開口部の周囲に形成された接合フランジ部72に対して微小間隙82だけ隔てて位置されるキャップ本体68を有し、前記接合フランジ部の端面側に環状の複数の排気溝部84,86を形成し、前記排気溝部を真空引きする溝部排気手段92を設けるように構成する。これにより、高いシール性を維持でき、しかも被処理体に対する汚染の恐れも大幅に抑制することが可能となる。

請求項（抜粋）：

縦長の処理容器内にその下端の開口部から、昇降可能になされたキャップ手段上に設置された被処理体を挿入して収容すると共に前記開口部を前記キャップ手段により塞ぎ、前記被処理体を回転しつつこれに所定の熱処理を施す熱処理装置において、前記キャップ手段は、回転可能になされ且つ熱処理時に前記開口部の周囲に形成された接合フランジ部に対して微小間隙だけ隔てて位置されるキャップ本体を有し、前記接合フランジ部の端面側に環状の複数の排気溝部を形成し、前記排気溝部を真空引きする溝部排気手段を設けるように構成したことを特徴とする熱処理装置。

IPC (6件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/56 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/324

FI (6件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/56 ,  H01L 21/22 511 S ,  H01L 21/22 511 Q ,  H01L 21/324 R ,  H01L 21/302 B

Fターム (17件)：

4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030DA09 ,  4K030FA10 ,  4K030KA04 ,  4K030KA10 ,  4K030KA23 ,  4K030KA28 ,  4K030LA15 ,  5F004BC01 ,  5F004BC02 ,  5F004BC08 ,  5F045BB14 ,  5F045DP19 ,  5F045EB10 ,  5F045EF20 ,  5F045EG01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-249936
  
• 縦型反応炉
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-115379   出願人：国際電気株式会社
• 縦型熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-293047   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 縦型反応炉の炉口部構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-210970   出願人：国際電気株式会社