特許

J-GLOBAL ID：200903046018826726

ウエハテスト方法

発明者： 森 昇
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 村上 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130005
公開番号（公開出願番号）：特開平11-330184
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】 複数のテスト工程がある場合でも、テスト時間を最小にしてマークレス方式のウエハテストを実施できるようにする。【解決手段】 該当するダイが前回のテストで良品であると判断された場合のみこのダイのテストを実施するに際し、前回テストの良品ダイ位置から最小のインデックスでの動作方法を演算し、その動作方法に従ってプローバ2を動かすようにすることにより、全工程共良品であった場合のみ良品ダイとするウエハテストを行なう。

請求項（抜粋）：

同一のウエハを複数回テストして全工程共良品であった場合のみ良品ダイとするウエハテストであって、前回のウエハテストデータを受信し、該当するダイが前回のテストで良品であると判断された場合のみこのダイのテストを実施するに際し、前回テストの良品ダイ位置から最小のインデックスでの動作方法を演算し、その動作方法に従ってプローバを動かすようにしたことを特徴とするウエハテスト方法。