特許

J-GLOBAL ID：200903046022408505

増強された分解能及び減少された結晶化傾向を有するポジティブホトレジスト、並びに新規テトラ(ヒドロキシフェニル)アルカン

発明者： ラインハルト シュルツ ,  ノルベルト ミュンツェル ,  マルチン ロス ,  ヴィルヘルム クノープロッホ
出願人/特許権者： チバ-ガイギー アクチエンゲゼルシャフト ,  オーシージー ミクロエレクトロニクス インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 萼 経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-255837
公開番号（公開出願番号）：特開平5-265211
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】 新規ポジティブホトレジスト及び新規テトラ(ヒドロキシフェニル)アルカンを提供する。【構成】 有機溶媒中に、少なくともa)1種のアルカリ可溶性樹脂(例えばノボラック)、b)1種の感光性キノンジアジド(例えばナフトキノンジアジド)、c)1種の芳香族ヒドロキシ化合物であって、感光性及び/又は現像速度を増強する化合物〔例えば1,3,3,5-テトラ(p-ヒドロキシフェニル)ペンタン〕、及び所望により、d)付加的な慣用の変性剤(例えばベンゾトリアゾール誘導体)、を含むポジティブホトレジスト組成物。【効果】 感光性及び/又は現像速度が著しく増大した。

請求項（抜粋）：

有機溶媒中に、少なくともa)1種のアルカリ可溶性樹脂、b)1種の感光性キノンジアジド、c)次式I:【化1】〔式中、各Rは水素原子、炭素原子数1ないし4のアルキル基、炭素原子数1ないし4のアルコキシ基、-OCH2 C6 H5 基、-OC6 H5 基又は-COO-炭素原子数1ないし4のアルキル-基を表わし、そしてR1 及びR2 は互いに独立して水素原子、炭素原子数1ないし4のアルキル基、-C6 H5 基又は脂環式5-若しくは6-員環を表わし、aは0ないし4の整数を表わし、そしてm及びnは互いに独立して0,1又は2を表わす〕で表わされる1種の芳香族ヒドロキシ化合物であって、感光性及び/又は現像速度を増強する化合物、及び所望により、d)付加的な慣用の変性剤、を含むポジティブホトレジスト組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00