特許
J-GLOBAL ID：200903046036882692
ビームホモジナイザ及びレーザ加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-145757
公開番号（公開出願番号）：特開平8-338962
出願日： 1995年06月13日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【目的】 カライドスコープのように筒状の構造を持つことがなく、任意の縦横比の方形レーザスポットを形成できるビームホモジナイザを提供すること。【構成】 本発明のビームホモジナイザは、反射面を対向させて設けられる第一のミラ-対3及び第二のミラー対4に対しそれぞれ第一の駆動系7、第二の駆動系8を設け、それぞれのミラー対に対応させたシリンドリカルレンズからなる集光手段たるレンズ1、レンズ2及び結像手段たるレンズ5、レンズ6を一光軸上に配置している。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器から出射されるレーザ光を受光し集光させる集光手段と、反射面を互いに対向させてなり、一端において前記集光手段により集光された光束を受光し、他端からこの光束を出射するミラー対と、前記ミラー対から出射した光束を受光し、この光束を集光する結像手段と、前記ミラー対の前記反射面の間の距離を調整するミラー駆動系と、を具備することを特徴とするビームホモジナイザ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 27/00 E
, B23K 26/06 E
