特許
J-GLOBAL ID：200903046038992282
光起電力素子を連続的に作製する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-038942
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252064
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 プラズマCVD法による光起電力素子の作製に際し、光起電力素子等のデバイス特性や歩留まりを向上、生産性の向上をもたらし、作製コストを低減する連続的作製方法を提供する。【構成】 複数の成膜空間において、帯状部材に複数の異なる堆積膜を形成するに先だって、それぞれの前記成膜空間にH2 ,He,Ne,Ar,Xe及びKrの各ガスの中から選択される1種類のガスまたは2種類以上の混合ガスを導入し、プラズマ化し複数の前記成膜空間をプラズマ加熱する工程を含む光起電力素子を連続的に作製する方法。
請求項（抜粋）：
帯状部材を複数の成膜空間を連続的に通過させ、該帯状部材に複数の異なる堆積膜を形成するプラズマCVD法において複数の前記成膜空間において前記帯状部材に堆積膜を形成するに先だって、それぞれの前記成膜空間にH2 ,He,Ne,Ar,Xe,及び、Krの各ガスの中から選択される1種類のガス、または、2種類以上の混合ガスを導入し、さらに該ガスに高周波、または、直流の電力を付与しプラズマ化し複数の前記成膜空間をプラズマ加熱する工程を含むことを特徴とする光起電力素子を連続的に作製する方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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