特許

J-GLOBAL ID：200903046040705592

プラズマ気相成長法による曲面板製造装置

発明者： 高村 文雄
出願人/特許権者： 新日本無線株式会社
代理人 (1件)： 緒方 保人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-304277
公開番号（公開出願番号）：特開平5-117858
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 均一な厚さの曲面板を製作すると共に、量産性を向上させることができるようにする。【構成】 プラズマ気相成長により所定の曲面形状の基材16上に成長層を形成させ、ダイヤモンド振動板等の曲面板を製造するプラズマ気相成長法による曲面板製造装置において、上記曲面形状の基材16をその曲面凸部が下側を向くように基材台14に配置する。そうすると、基材16には頂上部が存在しなくなり、マイクロ波により形成されるプラズマの上記頂上部への集中がなくなり、基材16の凹部曲面上に均一な厚さのダイヤモンド振動板が良好に製造される。

請求項（抜粋）：

プラズマ気相成長により所定の曲面形状の基材上に成長層を形成させて曲面板を製造するプラズマ気相成長法による曲面板製造装置において、上記曲面形状の基材をその曲面凸部が下側を向くように基材台に配置し、上記基材の凹部曲面上に成長層を形成するようにしたことを特徴とするプラズマ気相成長法による曲面板製造装置。