特許
J-GLOBAL ID：200903046048546957
電磁駆動装置およびそれを用いた流量制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-090909
公開番号（公開出願番号）：特開2004-293763
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】摺動抵抗が小さく、かつ形状精度の確保が容易であり、加工工数が低減される電磁駆動装置およびそれを用いた流量制御装置を提供する。【解決手段】プランジャ40の外周壁にはダイヤモンドライクカーボンからなる被膜部が形成されている。そのため、被膜部の厚さは小さくなり、被膜部を形成した後にプランジャ40の形状精度を高めるために研磨などの後処理を実施する必要はない。被膜部は、熱処理などの硬度を高めるための処理は不要である。さらに、被膜部は、ステータコア30との間の摺動抵抗が小さい。そのため、摺動抵抗を低減するためのコーティングは不要となる。これらにより、被膜部の硬度の向上にともなう耐久性の向上と、摺動抵抗の低減とを一層の被膜部により両立して達成される。したがって、加工工数を低減することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
可動子と、
前記可動子とともに磁気回路を形成し、前記可動子を内周側に往復移動可能に収容する収容部、ならびに前記可動子を往復移動方向の一方側に吸引する磁気吸引力が前記可動子との間に発生する吸引部を有する固定子と、
前記可動子の外周壁または前記収容部の内周壁のいずれか一方に形成され、ダイヤモンドライクカーボンからなる被膜部と、
を備えることを特徴とする電磁駆動装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
F16K31/06 305E
, F16K31/06 305J
3H106DA05
, 3H106DA08
, 3H106DA12
, 3H106DA23
, 3H106DB02
, 3H106DB23
, 3H106DB32
, 3H106DB39
, 3H106DC09
, 3H106DC18
, 3H106DD07
, 3H106DD09
, 3H106EE30
, 3H106EE35
, 3H106GA18
, 3H106GC10
, 3H106KK34
