特許
J-GLOBAL ID：200903046050386274
空気浮上装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
安形 雄三
, 五十嵐 貞喜
, 北野 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-055361
公開番号（公開出願番号）：特開2004-262608
出願日： 2003年03月03日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】平面状対象物を空気の圧力で安定に浮上させることが可能で、且つ圧縮空気消費量の少ない浮上装置を提供する。【解決手段】供給される圧縮空気と装置近辺の大気中の空気とを混合する空気混合手段を備え、大気中の空気を混合することによって圧縮空気を減圧すると同時に空気流量を増量し対象物に噴射して浮上させる構成とする。図1の構成例においては、圧縮空気配管4にて供給される1次側圧縮空気5は、空気混合手段である空気混合器3を通して外部大気6と混合され、減圧と増量とが同時に行われる。その増量された圧縮空気が筐体2を通して圧力拡散板1に伝達され、対象物の下部に噴射されて、対象物が空気により浮上する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平面状の対象物を圧縮空気で浮上させる装置であって、供給される圧縮空気と装置近辺の大気中の空気とを混合する空気混合手段を備え、前記大気中の空気を混合することによって前記圧縮空気を減圧すると同時に空気流量を増量し前記対象物に噴射して浮上させることを特徴とする空気浮上装置。
IPC (3件)：
B65G51/03
, B65G49/06
, H01L21/68
B65G51/03 Z
, B65G49/06 Z
, H01L21/68 A
5F031CA05
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031GA63
, 5F031JA10
, 5F031JA30
, 5F031JA32
, 5F031JA47
, 5F031NA02
, 5F031PA18
