特許
J-GLOBAL ID:200903046055173732

光学的情報記録媒体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-114418
公開番号(公開出願番号):特開平6-325411
出願日: 1993年05月17日
公開日(公表日): 1994年11月25日
要約:
【要約】【目的】 本発明はレーザ光線等により情報を高密度かつ高速に記録再生する光学的情報記録媒体の製造方法に関するもので、特にオーバライト書換え回数が優れた光学的情報記録媒体を低コストで製造することを目的とする。【構成】 基板上に第1の誘電体層と、相変化光学的情報記録層と、層厚が前記第1の誘電体層より小さい第2の誘電体層と、反射層をスパッタリング法で順次積層形成し、第1の誘電体層を形成する堆積速度より小さい堆積速度で第2の誘電体層を形成する。
請求項(抜粋):
基板上に、第1の誘電体層と、光学的情報記録層と、第2の誘電体層と、反射層をスパッタリング法で順次積層形成してなる光学的情報記録媒体の製造方法であって、前記光学的情報記録層がレーザ光線等の照射によってアモルファスと結晶間で可逆的に変化する相変化記録材料からなり、前記第2の誘電体層の層厚が、前記第1の誘電体層の層厚より小さく、かつ、前記第2の誘電体層を形成する堆積速度が、前記第1の誘電体層を形成する堆積速度より小さいことを特徴とする光学的情報記録媒体の製造方法。

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