特許

J-GLOBAL ID：200903046055598695

荷電粒子ビーム露光方法

発明者： 安田 洋 ,  甲斐 潤一
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-328490
公開番号（公開出願番号）：特開平9-205063
出願日： 1988年03月30日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】 各アパーチャにおけるビーム強度のばらつきを高精度で補償して均一露光を得る。【解決手段】 ブランキング電極駆動手段によって、各アパーチャのブランキング電極を独立にオン、オフ駆動させしかも荷電粒子ビームの強度とブランキング電極のオン時間との積が一定となるようにオン駆動させる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームが照射されるブランキングアパーチャアレイに配列された複数のアパーチャのそれぞれに設けられたブランキング電極を独立にオン・オフ駆動し、該ブランキング電極をオンさせたすべてのアパーチャについて、当該アパーチャを通過する前記荷電粒子ビームの強度と当該アパーチャのブランキング電極のオン時間との積が一定となるように各ブランキング電極のオン時間を制御することを特徴とする荷電粒子ビーム露光方法。

FI (2件)：

H01L 21/30 541 M ,  H01L 21/30 541 E

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭53-117387
  
• 特開昭62-118526
  
• 特開昭61-042128
  
• 特開昭57-007930