特許
J-GLOBAL ID：200903046067759767
複合型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-126092
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304405
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】試料表面の微小な範囲における各種物理的性質を同時に測定できる測定機と試料表面の様子を鑑察する顕微鏡の複合型プローブ顕微鏡に関する。【解決手段】可撓性の片持ち梁と、片持ち梁の自由端に微小な先端径を有した探針と、片持ち梁の撓み量の変化を検出する力検出手段と、試料の表面と平行な方向に変位する第1の走査駆動部材と、試料の表面に対して垂直な方向に変位する第2の走査駆動部材と、探針と試料とを離す第2の走査駆動部材を制御する走査駆動部材制御手段と、走査駆動部材制御手段から探針の存在する方向に対する前記試料の移動距離に関する情報をえ、力検出手段から探針に作用する力に関する情報を得て、探針の存在する方向に対する試料の移動距離の変化に対する探針に作用する力の変化量を算出する演算手段と、演算手段から出力された演算結果を試料の物理的性質として表示する表示手段とを備えた。
請求項（抜粋）：
可撓性の片持ち梁と、前記片持ち梁の自由端に微小な先端径を有した探針と、前記片持ち梁の撓み量の変化を検出する力検出手段と、少なくとも前記試料の表面と平行な方向に変位する第1の走査駆動部材と、前記試料の表面に対して垂直な方向に変位する第2の走査駆動部材と、前記探針の片持ち梁部分が所定の撓み量になるまで前記探針と前記試料と近接させ、その後前記探針と前記試料とを離す前記第2の走査駆動部材を制御する走査駆動部材制御手段と、前記走査駆動部材制御手段から前記探針の存在する方向に対する前記試料の移動距離に関する情報を得、更に前記力検出手段から前記探針に作用する力に関する情報を得て、前記探針の存在する方向に対する前記試料の移動距離の変化に対する前記探針に作用する力の変化量を算出する演算手段と、前記演算手段から出力された演算結果を前記試料の物理的性質として表示する表示手段とを備えたことを特徴とする複合型プローブ顕微鏡
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
