特許
J-GLOBAL ID：200903046071204265
流量計測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-234722
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082289
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 低流量域から高流量域まで精度よく流量計測を行うことができる流量計測装置を提供することを目的としている。【構成】 第1の圧力調整器2と第1の流量計測器3を設けた管路1の第1の圧力調整器2の上流側から、第2の流量計測器6と第2の圧力調整器5を設けた分岐管路4,4aを第1の流量計測器3に連通し、供給されるガスが設定流量以下の時は分岐管路4に流して第2の流量計測器6で流量を計測し、供給されるガスが設定流量以上になると第1の流量計測器3で分岐管路4側と管路1の両方を通して流れるガスの全流量を計測することによって、計測不能領域をなくして低流量域から高流量域までの全流量域にわたって高精度な流量計測を行なうことができる。
請求項（抜粋）：
ガスを高圧側から低圧側に供給する管路と、該管路に設けた第1の圧力調整手段と、前記管路に設けた設定流量以上での流量を計測する第1の流量計測手段と、前記管路の前記第1の圧力調整手段、第1の流量計測手段の上流側から分岐して前記第1の流量計測手段に連通する分岐管路と、該分岐管路に設けた前記第1の圧力調整手段よりも出口圧力が高く設定されている第2の圧力調整手段と、前記分岐管路に設けた設定流量以下での流量を計測する第2の流量計測手段とを具備し、供給ガスが設定流量以下においては、前記第2の流量計測手段で計測される前記分岐管路側だけを流れるガスの流量を計測値とし、供給ガスが設定流量以上においては、前記第1の流量計測手段で計測される前記分岐管路と管路の両方を通して流れるガスの流量を計測値とすることを特徴とする流量計測装置。
IPC (3件)：
G01F 7/00
, G01F 1/20
, G01F 1/42
