特許

J-GLOBAL ID：200903046081801458

マクロ検査装置およびマクロ検査方法

発明者： 井上 毅
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-230920
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069580
出願日： 2002年08月08日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】基板の裏面を全面検査できる簡易で安価な構成のマクロ検査装置およびマクロ検査方法を提供する。【解決手段】被検査基板11の裏面11bの一部領域12a,12bに接触して被検査基板を支持する支持手段12と、裏面を照明する照明手段14,15と、裏面から発生した散乱光に基づいて裏面の像を撮像する撮像手段17と、裏面のうち支持手段との接触領域12a,12bを変更する変更手段13と、撮像手段を制御して複数回の撮像動作を順に実行させると共に、複数回のうち2回目以降の撮像動作を実行させる前に、変更手段を制御して接触領域を変更させる制御手段18とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検査基板の裏面の一部領域に接触して前記被検査基板を支持する支持手段と、 前記裏面を照明する照明手段と、 前記裏面からの光に基づいて前記裏面の像を撮像する撮像手段と、 前記裏面内の前記支持手段との接触領域を変更する変更手段と、 前記撮像手段を制御して複数回の撮像動作を順に実行させると共に、前記複数回のうち2回目以降の撮像動作を実行させる前に、前記変更手段を制御して前記接触領域を変更させる制御手段とを備えた ことを特徴とするマクロ検査装置。

IPC (2件)：

G01N21/956 ,  H01L21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (20件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051CD01 ,  2G051DA03 ,  2G051DA07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA41 ,  4M106CA45 ,  4M106CA46 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB12 ,  4M106DB19 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ02