形状計測装置および形状計測方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平田忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-286679
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108420
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】小型かつ安価で、光利用効率が高く、物体表面の反射率の違い等の外的条件に左右されることなく、正確に物体までの距離を計測可能な形状計測装置および形状計測方法を提供する。【解決手段】第1および第2のシャッタ11A,11Bを開状態にし、半導体レーザ3から強度変調された照明光4aを出射する。平面センサ9は、対象物体6からの反射光4bとハーフミラー10からの参照光4cとの合成光を検出して検出信号を出力する。第2のシャッタ11Bを閉状態にし、半導体レーザ3から強度変調された照明光4aを出射する。平面センサ9は、対象物体6からの反射光4bを検出して検出信号を出力する。距離演算部13は、合成光の検出信号と反射光4bの検出信号に基づいて物体の反射率の影響を除去する補正を行った後、補正後の合成光の検出信号に基づいて物体までの距離を演算する。

請求項（抜粋）：

所定の周波数で強度変調された出射光を物体に向けて出射し、前記物体からの反射光と前記出射光との位相差に基づいて前記物体までの距離を計測する形状計測装置において、前記所定の周波数で強度変調された前記出射光を前記物体に向けて出射する光出射手段と、前記光出射手段から出射された前記出射光を所定の方向に反射する反射部材と、前記物体からの前記反射光と前記反射部材からの前記出射光とを受光し、それらの合成により前記位相差が反映された合成検出信号、前記出射光の出射によって前記物体で反射した前記反射光を受光して反射光検出信号、および前記反射部材からの前記出射光を受光して参照光検出信号を出力する検出手段と、前記合成検出信号、前記反射光検出信号および前記参照光検出信号に基づいて、前記物体表面の反射率の違い等の外的成分を除去する補正を行って前記距離を演算する演算手段とを備えたことを特徴とする形状計測装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 9/02 , G01B 11/00

FI (3件)：

G01B 9/02 , G01B 11/00 G , G01B 11/24 D

Fターム (32件)：

2F064AA09 , 2F064CC01 , 2F064FF02 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064JJ06 , 2F065AA06 , 2F065AA53 , 2F065DD02 , 2F065DD04 , 2F065EE03 , 2F065FF42 , 2F065FF52 , 2F065GG04 , 2F065GG06 , 2F065JJ03 , 2F065JJ18 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065LL21 , 2F065LL30 , 2F065LL53 , 2F065NN08 , 2F065NN17 , 2F065QQ00 , 2F065QQ02 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ33

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