特許
J-GLOBAL ID：200903046083241000
ウエハ姿勢制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-158200
公開番号（公開出願番号）：特開平6-345208
出願日： 1993年06月04日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ保持容器内に整列収容されている複数のウエハを、簡単な動作によって短時間で確実に整合させることができ、動作中における塵埃の発生が防止された姿勢制御装置を提供すること。【構成】 ウエハ保持容器内に整列収容された複数のウエハを、ノッチの位置を揃えることにより整合させる整合機構を有するウエハ姿勢制御装置であって、当該整合機構は、複数のウエハの各々を回転させる駆動シャフト10と、駆動シャフト10と共に対応するウエハを支持し、ウエハの回転に伴って回転するアイドルプーリー20と、ウエハの各々のノッチの位置が駆動シャフト10の位置に一致したときに、重力により降下するウエハの周縁に当接して、当該ウエハのノッチの内周と駆動シャフト10との接触を防止した状態でアイドルプーリー20と共に当該ウエハを支持するストッパー30とを有する。
請求項（抜粋）：
各々垂立し、互いに微小間隙を介して重なり合うよう水平方向に整列した状態でウエハ保持容器内に収容されている複数のウエハを、それぞれの外周縁に形成されたノッチの位置を揃えることにより整合させる整合機構を有するウエハ姿勢制御装置であって、当該整合機構は、ウエハの整列方向に伸び、複数のウエハの各々の下部において、当該ウエハの重量によりその外周縁に接触して当該ウエハを回転させる、ノッチ内に進入可能な直径を有する駆動シャフトと、複数のウエハの各々に対応して回転自在に設けられ、前記駆動シャフトと共に対応するウエハを支持し、当該ウエハの回転に伴って回転するアイドルプーリーと、前記ウエハの各々が回転されてそのノッチの位置が前記駆動シャフトの位置に一致したときに、重力により降下するウエハの外周縁に当接して、当該ウエハのノッチの内面に対して駆動シャフトが非接触となる状態で前記アイドルプーリーと共に当該ウエハを支持するストッパーとを有することを特徴とするウエハ姿勢制御装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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