特許
J-GLOBAL ID：200903046085170606
単結晶製造用坩堝
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細井 貞行 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-304067
公開番号（公開出願番号）：特開2003-112998
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】フッ化物系単結晶をチョクラルスキー法で製造する坩堝において、坩堝自体を成長する結晶の長さに合わせて当該坩堝の上に坩堝延長用の同じ直径を有するリング体を重ね合わせることで、任意長さの結晶、特に高純度で高い完全性を有するフッ化系単結晶の製造を可能にした単結晶製造用坩堝を提供する。【解決手段】 坩堝本体1の直径(L1)の値とその高さ(L2)の値とのアスペクト比を、1:1.1〜1:5に設定した。このアスペクト比の調整変更を、有底筒状の本体部1-1と、この本体部1-1と同じ直径の筒状で本体部1-1の開口縁部上に重ね合わせ載置される1乃至複数の延長リング部1-2の選択的な重ね合わせ載置により可能にして、必要とする任意長さのフッ化物系単結晶Mを製造し得るようにした。
請求項（抜粋）：
チョクラルスキー法で単結晶を製造する単結晶製造用坩堝において、坩堝本体の直径の値とその高さの値とのアスペクト比を、1:1.1〜1:5に設定したことを特徴とする単結晶製造用坩堝。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
4G077AA02
, 4G077BE02
, 4G077CF10
, 4G077EG02
, 4G077PD01
, 4G077PD02
