特許
J-GLOBAL ID：200903046089313037
精密送り機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-197156
公開番号（公開出願番号）：特開平5-016050
出願日： 1991年07月11日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【構成】 ガイドレール2に摺動自在に嵌合されたテーブル3と、このテーブル3の両面3a,3bから前記ガイドレール2に平行に且つガイドレール2を中間に挟むように夫々延設された第1・第2・第3・第4のフィード圧電素子4,5,8,9と、これらフィード圧電素子の自由端端部からガイドレール2に向って延設された第1・第2・第3・第4のクランプ圧電素子6,7,10,11と、前記テーブル3が連続的にガイドレール2上を移動するように前記圧電素子4〜11を制御する制御部12とからなる精密送り機構。【効果】 ガイドレール2に沿ってテーブル3はどこまでも移動可能であり、しかも移動の駆動源は圧電素子であるから高分解能で高応答性が得られる。
請求項（抜粋）：
ガイドレールに摺動自在に嵌合されたテーブルと、このテーブルの両面から前記ガイドレールに平行に且つガイドレールを中間に挟むように夫々延設された第1・第2・第3・第4のフィード圧電素子と、これらフィード圧電素子の自由端端部からガイドレールに向って延設された第1・第2・第3・第4のクランプ圧電素子と、前記テーブルが連続的にガイドレール上を移動するように前記圧電素子を制御する制御部とからなる精密送り機構。
IPC (3件)：
B23Q 5/28
, B23Q 1/28
, H01L 41/09
