感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-344911
公開番号（公開出願番号）：特開2001-166474
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】露光後の加熱処理までの引き置き時間(PED)によりレジストパターンが線幅の変化を生じたりT型形状になったりすることがなく、感放射線性樹脂組成物の放射線に対する吸収をできるだけ小さくすることでレジスト膜上部と下部の露光量の差を軽減し、超微細なパターンサイズにおいても矩形性を保つ、優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】下記式(1)【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基でありそしてR2は官能基を有し且つ炭素数10以上である脂環式アルキル基である、で表される繰返し単位と50重量%以下のヒドロキシスチレン類の繰返し単位を含有してなる共重合体および感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

下記式(1)【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基でありそしてR2は官能基を有し且つ炭素数10以上である脂環式アルキル基である、で表される繰返し単位と下記式(2)【化2】ここで、R3は水素原子またはメチル基である、で表される繰返し単位を含有してなりそして上記式(2)で表される繰返し単位の含有量が50重量%以下である共重合体および感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 601 , C08L 33/06 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027 , C08L 25:18

FI (5件)：

G03F 7/038 601 , C08L 33/06 , G03F 7/004 503 A , C08L 25:18 , H01L 21/30 502 R

Fターム (21件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BF02 , 2H025BF14 , 2H025BF15 , 2H025CB14 , 2H025CB17 , 2H025CB52 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J002BC12X , 4J002BG07W , 4J002GP03

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